Качество гарантировано!
Напомним, что работа по запуску производства светодиодов идет в РФЯЦ – ВНИИТФ с конца 1990-х годов. В начале 2000-х было приобретено основное производственное и диагностическое оборудование для выращивания так называемых гетероструктур. Теперь, когда производство гетероструктур освоено, что само по себе было делом непростым, и получены образцы с хорошими параметрами, настала пора сделать следующий шаг: начать производство светодиодных чипов – основного компонента готовых светодиодов. Полтора года назад руководством института было принято решение о производстве светодиодов из гетероструктур, выращиваемых в нашем институте. Производство гетероструктур осуществляется в планетарном реакторе Aixtron, Германия.
Собственно гетероструктуры выращиваются на сапфирных подложках диаметром около 50 мм, за один цикл можно выращивать гетероструктуры на 11 подложках, а сами светодиоды должны иметь размеры 0,5Ч0,5 миллиметров. Для производства светодиодных чипов из подложки необходимо провести следующие операции: фотолитография, плазмохимическое травление, нанесение диэлектрического слоя, создание омических контактов, утонение подложек и разделение подложек на чипы.
Недавно на специализированный производственный участок одного из подразделений ВНИИТФ начало поступать оборудование для производства светодиодов, и в настоящий момент уже запущен технологический комплекс участка, в частности оборудование по разделению пластин на чипы и комплекс утонения и шлифовки пластин. Параллельно с этими работами на первом этаже здания идет подготовка чистых комнат для установки второго комплекса (планетарного реактора) Aixtron: специалисты ВНИПИЭТа (Озёрск) заканчивают подготовку рабочей документации проекта. Планируется закончить подготовительные работы к лету и начать собственно строительные работы и проведение коммуникаций. Параллельно с этим будет запускаться технологическое оборудование участка, в частности оборудование для утонения и шлифовки пластин с целью уменьшения термосопротивления.
Автор: В. Литвинов, Е. Анашкин
